简要描述：DMD数字掩模光刻机无需制造掩模版，采用DMD 数字掩模可在抗蚀剂内曝光复制所希望的任意图案,结合偏振片可实现对任意位置抗蚀剂方向的特定操控。运用日本KOHZU电动位移台自动调焦，结合高精度手动位移台可做多图拼接。